連云港晶大闡述石英片制作工藝
連云港晶大生產(chǎn)的石英片,通常由石英熔煉并切割磨制而成,其二氧化硅含量可達(dá)99.99%以上。硬度為莫氏七級,具有耐高溫、熱膨脹系數(shù)低、耐熱震性和電絕緣性能良好等特點(diǎn)。通常為無色透明類,可見光透過率85%以上,它的生產(chǎn)工藝如下:
依據(jù)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)確定工藝流程后,就要擬定工序間流程的操控量(電性能目標(biāo)的留量)和操控時刻(產(chǎn)品在工序傳遞中的停留時刻),在考慮人、機(jī)、料、法、環(huán)的要素下,以試驗(yàn)數(shù)據(jù)為根底,按一般產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)擬定出可行的流程標(biāo)準(zhǔn)表(特別產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)特別對待),供各工序操作運(yùn)用。
工序之間產(chǎn)品的流通時刻要操控,未加工好的半成品產(chǎn)品在大氣中暴露的時刻越短越好;不能立刻加工的就要保存在氮?dú)夤裰校ㄗ龅较冗M(jìn)先出,后進(jìn)后出);要加工需翻轉(zhuǎn)倒盤的,也要在超凈工作臺上進(jìn)行。避免形成大氣污染,目標(biāo)漂移。
研磨好之后的石英片外表,直觀地來看是很光滑的。但其外表布滿了無數(shù)的凹坑和劃痕,其中附著了許多磨料和石英粉,形成了一層松散的損壞層。其深度與磨料的粒徑成正比。當(dāng)磨料粒徑很小時(如拋光粉)則損壞層深度很淺,光潔度很高。現(xiàn)已證明:進(jìn)行拋光的石英片,其Q值隨拋光時刻的延長而增大,之后接近于漸近值。實(shí)踐證明,在拋光之前進(jìn)行深腐蝕,在拋光后進(jìn)行細(xì)微腐蝕效果很好。但因拋光法效率低,只用于中高精度晶體元件及超高頻晶體元件。
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