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石英儀器知識之石英坩堝的苛刻要求
石英儀器大家都見過,其中石英坩堝是最有名的。石英坩堝先開啟循環(huán)水,看各冷卻水管冷卻水是否正常,每臺主機(jī)設(shè)備的循環(huán)水壓力在0.2MPa左右,水壓不能過低或過高,水壓過低循環(huán)水的水量不夠,實(shí)驗室凈化設(shè)備冷卻不好,溫度過高可能燒損設(shè)備;石英深加工
1.使用90微米鋼線切割硅片開創(chuàng)了線切領(lǐng)域的先河,每年可多創(chuàng)造利潤近千萬元;在業(yè)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)了100微米鋼線切割多晶片技術(shù);自產(chǎn)涂層石英坩堝使拉晶成品率提高了。
2.石英坩堝是拉制單晶硅的消耗性器皿,每生產(chǎn)一爐單晶硅就用掉一只石英坩堝,因為單晶硅是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路和太陽能電池的主要原料,所以對石英坩堝的要求十分苛刻,按照使用范圍不同,石英坩堝可分為:太陽能級硅單晶坩堝和集成電路級硅單坩堝。
3.水壓過高使主機(jī)設(shè)備的冷卻部位的水壓太大,會使冷卻部位爆開漏水;循環(huán)開啟十五分鐘后,方可進(jìn)行下一操作;(門板冷卻水不要大,有水流既可,方水板,電極板,銅電極,立板冷卻水開一半既可,水冷套,真空泵和遮熱板水量要大)。
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